客製化設備與系統

01 / EIP TESTING SYSTEM

EIP 檢測系統

EIP 檢測系統整合了兩種關鍵的光罩載具檢測技術：

• RGA 釋氣檢測

  利用殘餘氣體分析儀量測工件在真空環境下的釋氣率（質量範圍 1–200 amu），確保金屬工件符合半導體級清洗標準，防止製程污染。

• EIP 導通率測試

  針對 EUV 光罩內載具（EIP）進行導通性能（Conductance）驗證，確保在充氣（Venting）過程中能快速平衡壓差，避免上蓋掀開（Cover lift-off）。