ETAI TECH / SPECIALTY CHEMICAL CYLINDER OUTGASSING TESTING
特用化學品鋼瓶釋氣檢測
特用化學品鋼瓶釋氣檢測整合鋼瓶氮氣沖洗、真空烘烤、RGA 釋氣等功能，透過製程選單自動執行各項流程與檢測，縮短時間並產出批次報告，大幅提升效率與自動化程度。
應用於半導體領域的特用化學品有液體與粉末兩種形式，且大多對空氣或水分高度敏感。在填裝新的特用化學品之前，必須保證特用化學品不受外界雜質污染，因此需使用專門儀器如殘留氣體分析儀（RGA），進行嚴格檢驗鋼瓶內釋氣（Outgassing）量，確保特用化學品不被鋼瓶內釋氣污染。
特用化學品鋼瓶釋氣檢測，規格條件如下所列：
- 烘烤檢測鋼瓶數量：5 加侖鋼瓶 10 隻。
- 系統尺寸：高度 1752 mm × 長度 2600 mm × 寬度 1500 mm。
- 真空系統底壓：< 5 × 10⁻⁶ mbar。
- 真空系統氦氣漏率：< 1 × 10⁻⁸ torr · L/s。
- 鋼瓶烘烤溫度：工作溫度 120 °C，最高 150 °C。
- 真空腔體烘烤溫度：工作溫度 120 °C，最高 150 °C。
- RGA 釋氣檢測項目：H₂O、N₂、O₂、CO₂、H₂、He、C₅H₁₂、C₃H₆O、C₃H₈O、C₇H₁₆ 等，可依客戶需求設定。
- 手動鋼瓶氦氣測漏功能。
- 自動產出 RGA 釋氣報告。
- RGA 質譜校正功能。
- 鋼瓶閥門內漏檢測。
- 製程程式編輯功能。
- 自動資料儲存與製程參數上傳功能。
- QR Code Scanner 整合鋼瓶生產履歷。
可依照客戶需求客製化對應設備