ETAI PRODUCTS
ETAI產品
以量測目標與使用情境為基礎，提供客製化系統整合與毅泰成科技自有品牌氧氣感測器。
01 / ETAI TECH
RGA 釋氣檢測系統
Sonata System
高真空環境下，透過 RGA 精準量測材料表面真空釋氣（Outgassing），確保高真空製程穩定。
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O₂ Sensor 氧氣感測器
ETAI O₂ Monitoring System
結合氧化鋯氧氣探頭與控制器，即時監測氧氣變化，應用於真空製程、腔體狀態監控與研究開發。
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真空烤箱整合 RGA
將氣體成分監測整合於真空烘烤流程，透過精準的氣體成分監測，科學化地判定烘烤終點，杜絕製程污染風險。
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氣體不純物監控系統
協助客戶精準掌握真空環境的氣體狀態，提供專業的全方位「RGA（殘餘氣體分析儀）系統設計整合」服務。
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特用化學品鋼瓶釋氣檢測
特用化學品鋼瓶釋氣檢測整合鋼瓶氮氣沖洗、真空烘烤、RGA 釋氣等功能，透過製程選單自動執行各項流程與檢測，縮短時間並產出批次報告，大幅提升效率與自動化程度。
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EDCM 設備資料收集模組
Equipment Data Collection Module
專為無 SECS 設備開發，即時收集數據上拋 FDC，落實自動化監控。
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客製化設備與系統
客製化設備與系統，是根據客戶製程需求量身設計與開發，打造專屬的設備與操作介面。
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