真空型氧氣偵測系統(O2 Sensor)

毅泰成真空製程氧氣即時監控系統

在大多數的真空製程中,對於大氣洩漏都是無可避免的,大氣中的氧氣、水氣與氮氣會造成製程中氧化物或氮化物的生成,進而影響產品之特性與良率。

一般而言,確保真空腔體(Chamber)的真空是否有漏,除了可用氦氣測漏儀或以真空計去量測真空壓力上升的情況(ROR) 。但上述兩種方式都無法在製程過程中即時監控洩漏狀況,如需要即時監控外氣洩漏狀況,ETAI 氧氣即時監控系統,可於製程中即時偵測腔體是否有洩漏發生。

ETAI氧氣即時監控系統有獨特全廣域監控壓力範圍(1,500 mbar 到 1 X 10-7 mbar) ,並可直接安裝在腔體上即時監控製程,因此適用於物理氣相沈積(PVD) 、化學氣相沈積(CVD) 、連續式真空濺鍍(In-Line sputter) 或真空蒸鍍( evaporator)等相關真空製程設備上。

              • 體積小安裝容易。
              • 低成本的真空系統即時大氣洩漏量測系統。
              • 量測壓力範圍可從1.5大氣壓到1x 10-7 mbar 全廣域真空壓力段皆可量測。
              • 無須多加真空幫浦及特殊保護裝置,維護保養容易便宜。
              • 感測頭更換簡單容易。
              • 在潔淨製程或潔淨氣體環境時,感測頭使用壽命可長達20,000小時。
              • Sensor Head特殊設計兩年內免校正,無飄移,壽命長。
              • Sensor head 外圍裝置保護圓管,大幅降低感測頭汙染之機會,延長使用壽命。
              • 液晶顯示控制器。
              • 高科技製程專用 Guardian 全時監控軟體。
              • 通過TUV SEMI-S2 規範測試認證 。

毅泰成Guardian 即時監控軟體

毅泰成真空氧氣偵測儀專用即時監控軟體

              • 中文化界面
              • 人性化操作介面
              • 可一次連接最多四台氧氣偵測儀與真空計做最精準的真空製程腔體即時氧氣監控。
              • 可以設定氧氣偵測儀偵測數值最大或最小作為警示值,並於超過警示值時顯示警示訊息。
              • 簡易統計資料分析功能
              • 可接收其他儀器 analog 輸出同時監控