真空殘氣及釋氣(RGA)量測設備

真空釋氣(outgassing)量測設備主要目的是,針對待測物在真空下釋氣(out gas)程度與釋氣物質的量測系統,用以檢定該待側物潔淨程度,防止真空環境下釋氣污染。

毅泰成真空釋氣自動量測機台創新特色 :

  • 專為真空元件釋氣量次所設計之全自動量測系統。
  • 創新五模式控制系統。
  • 元件真空釋氣自動量測模式( component test mode) : 抽氣,量測全自動切換作業。
  • RGA 校正模式( RGA calibration mode) : 配置專用校正氣體鋼瓶,系統接受校正指令後,全自動校正RGA 數值 。
  • 腔體清潔模式 ( Chamber clean mode) : 配置N2 flow 控制系統, 自動 cycle purge 清潔腔體,以避免干擾元件偵測之確切數值。
  • 腔體自動靜態升壓測漏模式 ( ROR leak check mode) : 腔體接受指令後自動執行 ROR 靜態壓升測漏, 以確認腔體是否有外氣洩漏之狀態。
  • 維修模式 ( Maintenance mode): 系統切換至手動模式,以利機台維護測試各部件作動。
  • 全自動上掀式開啟設計 : 為滿足元件進真空腔體之需求, 特別設計電動上掀槍蓋之設計,以利各真空元件進出腔體。