真空殘氣及釋氣(RGA)量測設備

毅泰成真空釋氣自動量測機台創新特色 :

• 專為真空元件釋氣量測所設計之全自動量測系統。

• 創新五模式控制系統。

• 元件真空釋氣自動量測模式( component test mode) : 抽氣，量測全自動切換作業。

• RGA 校正模式( RGA calibration mode) : 配置專用校正氣體鋼瓶，系統接受校正指令後，全自動校正RGA 數值 。

• 腔體清潔模式 ( Chamber clean mode) : 配置N2 flow 控制系統， 自動 cycle purge 清潔腔體，以避免干擾元件偵測之確切數值。

• 腔體自動靜態升壓測漏模式 ( ROR leak check mode) : 腔體接受指令後自動執行 ROR 靜態壓升測漏， 以確認腔體是否有外氣洩漏之狀態。

• 維修模式 ( Maintenance mode) : 系統切換至手動模式，以利機台維護測試各部件作動。

• 全自動上掀式開啟設計 : 為滿足元件進真空腔體之需求， 特別設計電動上掀艙蓋之設計，以利各真空元件進出腔體。