分壓測漏系統 (Partial Pressure Leak Detection System)

分壓測漏技術是一種新測漏技術,使用氣體分壓感測器檢測洩漏率,分壓測漏技術可提供測漏對象的總洩漏率,精確的洩漏檢查,不受測漏對象或真空腔體釋氣和液體蒸發的干擾。真空度要求較低,無需使用高真空幫浦,靈敏度更高(漏率最高可達1E-5 mbar·l / sec)。可使用標準洩漏裝置(Standard Leak)自動校正洩漏系統。低成本,沒有氫混合氣或氦氣耗材之需要。

分壓測漏技術可取代常用的測漏方法,例如:水浸氣泡測漏法、空氣測漏法或壓力上升測漏法等,都可以改用分壓測漏方法。

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