客製化真空烤箱 (Customized Vacuum Oven)

真空烤箱(Vacuum Bakeout Oven)目的在烘烤工件，以進一步降低釋氣率 (outgassing rate)。所有材料的脱附(desorption)和擴散速率(diffusion rate)都是高度依賴於溫度的，因此，材料表面在高溫下，吸附在表面或孔隙內的水氣或污染物會釋放出來，同時加速材料中分子的擴散。經由真空烤箱烘烤後，降低了部件在真空環境內的釋氣率。

客製化真空烤箱規格與特色 :

• 腔體尺寸1500(W) x 1500(D) x 1000(H)

• 上下兩個獨立加熱室

• 最大烘烤溫度 500°C

• 真空幫浦 Dry Screw Pump 與Roots Pump

• 真空度 1E-2 torr

• 真空腔體漏率 < 1E-3 torr * l / sec

• 氦氣漏率 < 1E-9 torr * l / sec

• PC base 使用者介面

• 製程程式編輯功能

• 製程資料儲存

• 可選擇整合殘餘氣體分析儀

本公司針對客戶需求客製化真空烤箱系統，以滿足您的需求。

我們將致力於提供您最值得信賴與最具有效率的真空技術解決方案。